DD马达应用于玻璃划片机

【所属行业】半导体行业

【技术优势】
   ① 伺服刚性强
   运行静止 的时候进行 划片的 动作，电机保持位置，以保证划片直线度良好。
   ② 高精度
   机械精度需保证安装超高平面度，Run-out 要求 5 微米以下，以保证玻璃划片深度一致性好。
   ③ 绝对精度高
   划片要求马达转动 90°的绝对精度高，而 DD 马达的绝对精度达到±10arc-sec。