音圈电机应用于高精度陶瓷基片激光微孔加工

所属行业：
精密加工行业

技术优势：
   ①双向重复定位精度：±1μm；
   ②平台具备快速定位能力，稳态时间＜100ms；
   ③2mm快速点定位，要求运动时间＜70ms；
   ④激光打孔工作时间15ms，要求单孔加工＜185ms，即5-6孔/min；
   ⑤XY单独运动，没有插补运动；
   ⑥材质陶瓷基片。