直线电机和音圈电机应用于光刻机双工件台

       光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。直线电机光刻机工件台是光刻机的核心子系统之一，其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等。

       光刻机双工件台，即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，但同时运行，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。光刻机工件台承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作。

       中国是继荷兰之后第二个掌握光刻机双工件台技术的国家，利用磁悬浮电机驱动超精密的乘片台，最高能实现纳米级分辨率的套刻精度。

       我们常听到的光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度，采用了长行程直线电机粗动加音圈电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。同时为减小微动电机的运动范围和加速度,得提高直线电机的轨迹跟踪精度，U型无铁芯直线电机和音圈电机是在半导体设备高速超精密运动领域不可或缺的精密配件